给本证半导体掺入杂志使其成为P或N半导体,我想知道用什么方法来掺入杂质的呢?

水果西瓜太郎 发布于 2021-09-15
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1982吃货一枚
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半导体一般是使用热扩散的方法将III族或VI族元素掺入本征半导体或者以掺杂的半导体中,这说的是同质结。

如果是异质结一般是使用磷烷和分别和硅烷混合后,气相沉积在以掺杂的半导体衬底上。生产异质结还有一些别的外延生长的方法。

景德镇瓷器
景德镇瓷器

第一种:先积淀在半导体上,再通过热扩散
第二种:离子注入,通过电场,给离子加速,注入半导体中。
第三种:LPCVD,自己百度
还有其他方法,只是我不知道